三维 X 射线计算机断层扫描(CT)技术为金属材料内部结构和缺陷检测提供了直观的手段。该技术通过对金属样品从多个角度进行 X 射线扫描,获取大量的二维投影图像,再利用计算机算法将这些图像重建为三维模型。在航空航天领域,对发动机叶片等关键金属部件的内部质量要求极高。通过 CT 检测,能够清晰呈现叶片内部的气孔、疏松、裂纹等缺陷的位置、形状和尺寸,即使是位于材料深处、传统检测方法难以触及的缺陷也无所遁形。这种检测方式不仅有助于评估材料质量,还能为后续的修复或改进工艺提供详细的数据支持,提高了产品的可靠性与安全性,保障航空发动机在复杂工况下稳定运行。
二次离子质谱(SIMS)能够对金属材料进行深度剖析,精确分析材料表面及内部不同深度处的元素组成和同位素分布。该技术通过用高能离子束轰击金属样品表面,使表面原子溅射出来并离子化,然后通过质谱仪对二次离子进行分析。在半导体制造中,对于金属互连材料,SIMS 可用于检测金属薄膜中的杂质分布以及金属与半导体界面处的元素扩散情况,这对于提高半导体器件的性能和可靠性至关重要。在金属材料的腐蚀研究中,SIMS 能够分析腐蚀产物在材料表面和内部的分布,深入了解腐蚀机制,为开发更有效的腐蚀防护方法提供依据。

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